P60系列Z向大行程直线微运动平台
更新时间：2021-04-10 10:10:23点击次数：1690次
P60.Z500S产品图
带载阶跃时间
技术参数
型号：P60.Z500
运动自由度：Z
行程范围（0~120V）：400μm
行程范围（0~150V）：500μm
闭环传感器：SGS
闭/开环分辨率：20/5nm
闭环线性度：0.1%F.S.
闭环重复定位精度：0.05%F.S.
空载谐振频率：290Hz
承载能力：2kg
静电容量：28.8μF
材质：钢、铝
重量（不含线）：0.65kg
