极低温、强磁场二维扫描压电纳米定位平台！
更新时间：2020-07-27 08:44:22点击次数：1964次
特 点
耐低温可达 4K
耐强磁
4K温度下位移达10μm@150V
分辨率可达0.5nm
开环驱动，快速响应
耐真空度达10^-4mbar
耐磁场达3T
室温电压与位移曲线
技术参数
型号：XD103
运动方向：X、Y
常温标称行程：100μm@60V
4K温度下行程：10μm@150V
常温分辨率：1nm
4K温度下分辨率：0.5nm
空载谐振频率：>350Hz
带载150g谐频：>120Hz
常温静电容量：5.4μF/轴
4K温度下静电容量：0.75μF/轴
材料：钛合金、铝
承载：≤150g
