特
点
一维θx轴偏摆
承载高达60kg
典
型
应
用
闭环电压与位移曲线
20ms阶跃曲线
使用频率与振幅曲线(20kg负载下)
技
术
参
数
型号:N50.U0C
运动自由度:θx
标称偏摆角:0.4mrad(≈80秒)@120V
偏摆角:0.5mrad(≈100 秒)@150V
传感器类型:CAP
闭/开环分辨率:0.02/0.01μrad(<0.01秒)
闭环线性度:0.3%F.S.
闭环重复定位精度:0.3%F.S.
空载谐振频率:750Hz
闭/开环空载阶跃时间:30/15ms
承载能力:60kg
静电容量:30μF