多层压电陶瓷叠堆
二维XY压电扫描台
二维XY快速压电扫描台以一定的速度移动以实现被测物与CCD图像传感器之前微小的位移,对图像进行扫描及稳定叠加处理,从而提高图像的分辨率。芯明天P18系列二维压电纳米定位台可实现XY轴375微米位移行程,通过内置闭环传感器装置配套芯明天闭环控制系统实现纳米级的定位精度。
配套压电控制器