XD601.XYZ100压电平台
1.XYZ三维运动
2.行程范围X180μm,Y180μm,Z300μm
3.分辨率XY2nm,Z4nm
4.承载能力200g
XD602压电平台
P15.XYZ300压电平台
1.XYZ三维运动
2.行程范围300μm/ 轴
3.分辨率6nm
4.通孔尺寸66×66mm
5.承载能力500g
P18.XYZ200压电平台
1.XYZ三维运动
2.行程范围200μm/轴
3.分辨率5nm
4.通孔尺寸Ø35mm
5.承载能力800g