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XD602大行程压电纳米定位台,应用于精密定位
更新时间:2020-04-08 16:38:31点击次数:2468次
XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有分辨率高、行程大等特点,行程范围可达200μm/轴,广泛应用于精密定位、微操作等领域。
产品运动示意图
应用
1
纳米定位
2
精密定位
3
微操作/微加工
大行程、高可靠性、高稳定性
XD602为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台,可以实现每轴200μm的位移行程,优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。
闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。
技术参数
型号:XD602
运动方向:X/Y/Z
行程范围@120V:160µm
行程范围@150V:200µm
传感器:SGS
开环分辨率:8nm
闭环线性度:0.2%F.S.
闭环重复定位精度:0.1%F.S.
空载谐频:270Hz
谐振频率@100g:110Hz
50%行程空载使用频率:20Hz
台体材料:铝
工作温度范围:0~50℃
承载能力:300g
推荐控制器
XD602系列压电位移台,可搭配芯明天E70系列压电控制器使用,模拟与数字控制,体积小巧,高性能搭配。
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