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压电稳像扫描运动与控制系统

更新时间：2020-02-21 14:24:41点击次数：2255次
N62系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。


高动态、高分辨率、高定位精度

N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.5nm，满行程重复定位精度达纳米级。
产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000Hz，满足工业上对高频率高精度等应用的需求。

动态性能好

N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。


技术参数

型号：N62
运动自由度：X、Y
行程范围@120V： ±8μm/轴
行程范围@150V：±10μm/轴
闭环传感器：SGS
通孔尺寸：Ø26 mm
闭/ 开环分辨率：1/0.5 nm
闭环线性度：0.3%F.S
闭环重复定位精度：0.1%F.S
运动方向刚度：X2.2/Y2.2 N/μm
空载谐振频率：X2000/Y2000 Hz
闭/ 开环空载阶跃时间：1.5/0.7 ms
最大承载：1kg
静电容量：1.6μF/轴
材质：钢、铝
重量：180g

配套压电控制器

E70.D3S是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
采用DC24V 供电、集成数字与模拟控制功能、RS-232/RS-422/USB 通讯可选、集成式PZT&sensor 迷你接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。


技术参数

型号：E70.D3S-I2
功能：数字与模拟集成式控制器
通道数：3
模拟输入范围：0-10V
输出电压范围：0-120V/150V第三路恒压
峰值电流：1.1A/通道
平均电流：70mA/通道
放大器带宽：10kHz/通道
输出电压纹波：5mV（2.2μF）
PZT连接器：ECG.1B.314（LEMO）
控制输入连接器：SMB
传感器类型：SGS
伺服特性：P.I+ 低通+ 陷波
传感输出纹波：10mV
通信接口：RS-232/422、USB
工作温度范围：0-50℃
尺 寸：168.5×134×45.5mm
重 量：1.2kg
供电电压：24V DC1.5A(36W)
控制方式：模拟/ 数字信号控制 

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