芯明天压电陶瓷驱动微定位偏摆台
P54系列压电偏摆台
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型号 |
S-闭环 K-开环 |
P54.T2S P54.T2K |
单位 |
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运动自由度 |
θx, θy |
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标称偏摆角度 (0~+120V) |
±0.8/轴 (≈±170'') |
mrad |
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偏摆角度 (0~+150V) |
±1/轴 (≈±200'') |
mrad |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.25(≈0.05'') /0.05(≈0.01'') |
μrad |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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推/拉力 |
40/8 |
N |
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运动方向刚度 |
0.5 |
N/μm |
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空载谐振频率 |
300 |
Hz |
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闭/开环空载阶跃时间 |
20/3.5 |
ms |
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闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz |
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100%行程 |
15 |
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承载能力 |
1 |
kg |
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静电容量 |
3.6/轴 |
μF |
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材质 |
铝、钢 |
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重量 |
510 |
g |
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