P16系列压电平台是以小体积、大位移而闻名,它的外形尺寸仅60×60×20mm,位移行程可选50μm或100μm,非常小的体积及较低的高度提供了较大的位移。
P16系列XY二维运动压电平台,它的中心具有φ20mm的中心通孔,非常适用于光学应用。
近期,芯明天公司对P16系列进行了升级,对结构和外观进行了改善,使之更加一体化,同时,可靠性也大幅提高。
安装接口
需带载的负载可通过移动面上间距25mm的4个M3螺纹孔或间距16mm的4个M2螺纹孔进行固定,机械接口,安装便捷。
驱动原理
P16系列压电平台是一款特别的运动平台,它采用差分式驱动控制,虽然是二维运动,但它需要一台具有恒压的三通道压电控制器驱动,这是因为它内部每轴的运动都采用两组压电陶瓷差分式驱动,如下图所示。
使用说明/位移曲线
由于差分驱动,P16压电平台的开/闭环位移曲线与非差分驱动式压电平台的会略显不同。以150V驱动电压为例,X轴方向的闭环位移与控制电压的关系如下图所示,Y轴方向的位移&电压曲线与X轴相同。
从上图中可看出,在控制电压为75V时,移动平面的位置会回到施加电压前的初始位置。
技术参数
典型应用
• 显微成像 • 表面检测 • 干涉 / 计量 • 精密定位 • 光学 • 微操作