压电直线纳米运动与二维偏转镜架相结合，实现镜片二维偏转及快速光学移相！
光学移相器是一种用于控制光相位的光学器件，用于实现光信号的相位移动，在干涉测量技术领域中广泛的应用。随着技术的不断进步，干涉测量技术对于大行程、高精度、高灵敏度的要求越来越高，移相器作为干涉测量技术的重要部件，也要随之进步。
芯明天宏微复合式压电移相器是将直线压电促动器与二维手调镜架相结合，实现镜片θx、θy二维偏转，且压电促动器具有高精度、快速响应等优势，可通过电压控制进行超快速（μs级）步进调节，二者合一既可以满足大角度调节范围又可以进行快速光学移相，且体积小，更便于操作。
ZT35H80K系列压电陶瓷移相器
ZT35H80K系列压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷管驱动，它由直流电压信号控制，在150V电压下产生的位移约0.7μm，在上限驱动电压800V下，产生的位移约3.73μm，手动调节镜架偏转角度范围可达±4°。可带载φ35mm镜片，也可定制尺寸。
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型号 |
ZT35H80K |
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运动自由度 |
压电驱动 |
X |
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手调 |
θx、θy |
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压电直线行程 |
0.7μm@150V |
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手调 θxθy偏转角度 |
±4°/轴 |
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空载谐振频率 |
47.8kHz |
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静电容量 |
48nF |
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标准可安装镜片直径 |
Φ35mm（或1英寸，可定制） |
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最大驱动电压 |
0~800V |
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重量 |
175g |
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T30Z1K压电陶瓷移相器
T30Z1K压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷管驱动，在150V直流电压驱动下可产生约0.65µm位移，可通过手动调节θx、θy两轴的偏转角度，角度调节范围可达±3°。将镜片调节与像移步进相结合，体积更小巧紧凑，使其更方便于像移、干涉测量等应用。
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型号 |
T30Z1K |
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运动自由度 |
压电驱动 |
Z |
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手调 |
θx、θy |
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压电直线行程 |
0.65μm |
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手调 θxθy偏转角度 |
±3°/轴 |
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空载谐振频率 |
47.8kHz |
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静电容量 |
40nF |
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标准可安装镜片直径 |
Φ35mm（或1英寸，可定制） |
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最大驱动电压 |
0~150V |
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重量 |
270g |
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ZT50M14系列压电促动器
ZT50M14系列压电促动器是专为光学笼式结构应用而设计，可直接安装于笼式结构中。它是将压电促动器集成到一个手调镜架中，先通过二维镜架对镜片的朝向进行手动调节，可调节范围±3°，再通过压电促动器进行纳米精度直线运动。该压电促动器具有多种型号，可在多种位移间进行选择，最高可达114μm，可选配闭环传感器。
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型号 |
传感器 |
标称行程范围 （μm） |
刚度 （N/μm） |
推/拉力 （N） |
静电容量 (μF) |
谐振频率 （kHz） |
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ZT50M14S/K7 |
SGS/- |
9 |
120 |
1200/200 |
0.7 |
40 |
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ZT50M14S/K20 |
SGS/- |
19 |
60 |
1200/200 |
1.8 |
30 |
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ZT50M14S/K40 |
SGS/- |
38 |
25 |
1200/200 |
3.6 |
20 |
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ZT50M14S/K60 |
SGS/- |
57 |
15 |
1200/200 |
5.4 |
15 |
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ZT50M14S/K80 |
SGS/- |
76 |
12 |
1200/200 |
7.2 |
12 |
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ZT50M14S/K100 |
SGS/- |
95 |
10 |
1200/200 |
9 |
10 |
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ZT50M14S/K120 |
SGS/- |
114 |
8 |
1200/200 |
11 |
8 |
芯明天可提供各种用于移相、步进、干涉、计量等应用的压电式移相器，例如小体积型、带有通光孔型、大负载型、大口径型，可完全根据客户实际应用定制设计。
配套控制器
E53.D系列单通道压电控制器适用于驱动芯明天压电移相器，供电为24VDC/1.5A，带宽10kHz，可采用模拟或数字控制，开闭环可选。针对小体积应用开发，结构紧凑、易于集成。
