01
产品特性
• Z向运动
• 行程达400μm
• 承载达0.5kg
• 可选配闭环传感器
02
应用领域
• 激光加工
• 定位与扫描
• 聚焦显微
• 表面结构分析
螺纹适配器便于安装
闭环线性度曲线
技术参数
型号:XD730.400
运动自由度:Z
行程范围(0~120V):400μm
传感器类型:SGS
分辨率:18nm
闭环线性度:0.2%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
空载谐振频率:150Hz
承载能力:0.5kg
静电容量:28.8μF
工作温度范围:-20~80 ℃
材质:铝、钢
出线长:1.5m
传感/电压连接器:LEMO