产品特点
• XYZ向运动
• 行程可达25.4mm/轴
• 分辨率达0.5μm
• 真空度打10^-5Pa
• 可定制闭环版本
产品应用
• 平版印刷
• 纳米压印/纳米计量学
• 半导体技术/半导体测试
• 在强磁场和真空中运动
1~3维运动平台
X65
N81K26
XY65
N81K26
技术参数
型号:XYZ65N81K26
运动自由度:XYZ
行程范围:25.4mm/轴
最小位移增量:<30nm
分辨率:0.5μm
中心负载:50N
轴承:滚珠
材料:铝
工作温度:10~40℃
端口:4-Pin
出线长:2m
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