特性
• 行程可达50μm
• 承载能力500g
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高
• 聚焦稳定性好
大负载 高频响 高分辨率
闭环阶跃时间
技术参数
型号:P76.Z50S/KA
运动自由度:Z
行程范围(0~120V):40μm
行程范围(0~150V):50μm
闭环传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:5/2.5nm
闭环线性度:0.05%F.S.
闭环重复定位精度:0.02%F.S.
推/拉力:35/10N
运动方向刚度:0.8N/μm
空载谐振频率:800Hz
闭/开环空载阶跃时间:5/2ms
承载能力:0.5kg
静电容量:3.2μF
材质:钢、铝
重量:510g