P78.Z100压电显微样品台
特性:
· 一维Z轴运动
· 运动行程100μm
· 闭环SGS传感器
· 分辨率可达4nm
· 通孔尺寸120×70mm
· 空载阶跃时间5ms
· 空载谐频200Hz
· 承载能力1kg
E53.D数字式伺服控制器
特性:
· 一通道闭环控制
· 0~120/150V输出
· 平均电流60mA
· 放大器带宽10kHZ
· 通信接口:USB/RS-422/RS-232
· 重量:350g
· 外形尺寸:148×27.5×80mm