技术参数
型号:P35.T40
运动自由度:θx、θy
偏转角度(0~120V):35或±17.5mrad(≈±3600”)
偏转角度(0~150V):43或±21.5mrad(≈±4400”)
闭环传感器类型:SGS
闭/开环分辨率4/1μrad(≈0.8”/0.2”)
闭环线性度:0.02%F.S.
闭环重复定位精度:0.014%F.S.
空载谐振频率:1500Hz±20%
闭/开环阶跃时间(加载10.6g):10/1.2ms
闭环阶跃时间(加载30g):25ms
静电容量:7.2μF
材质:钛、铝
重量:335 g