01
什么是六自由度
压电纳米定位台?
六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。运动如下图所示。(注:θx运动即为以X轴为中心轴的旋转运动。)
02
六自由度压电定位台应用举例
-光纤对接调整
03
芯明天六自由度
压电纳米定位台
XD801-D1六自由度定位系统
(图左:E51.D7S压电控制器,图右:XD801-D1)
技术
参数
型号:XD801.S-D1闭环、XD801.K-D1开环
运动自由度:X、Y、Z、θx、θy、θz
XYZ行程范围:6µm@150V
θxθyθz轴偏转角度:1mrad@150V
传感器类型:SGS
闭/开环偏转分辨率:1/0.1μrad
闭/开环直线分辨率:2/0.2nm
闭环线性度:0.25%F.S.
闭环重复定位精度:0.2%F.S.
空载谐振频率:约250Hz
空载闭环阶跃时间:约25ms
承载能力:500g
材质:钢、铝
重量:660g
出线长:1.5m
传感/电压连接器:DB15-HD(针)