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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> P31系列压电偏转镜
压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P31俯仰/偏转镜系统可提供光束偏转角度达50mrad，这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计，两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点，具有高分辨率及高定位精度等特点。
特点
• θx,θy二维偏转，偏转角度25mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间
运动方式
频率负载曲线
闭环曲线
闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。
高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性
P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷，可提供好的稳定性及可靠性。
压电促动器、导向机构及传感器是免维护的，不易损坏且提供高的可靠性。先进的铰链/杠杆设计将惯性，允许25mrad的大角度俯仰/偏转范围（可将光束偏转50mrad），且具有快的响应速度，在毫秒级范围。
除了大偏转角度及高动态，P31还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器（SGS）实现了绝对的位置控制，具有优异的重复定位精度，通常为行程的0.2%。
结构原理
压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。
可定制镜片转接座
可依据您的镜片尺寸及形状定制镜片转接适配座。
驱动控制
P31压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。
应用
• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉
产品测试
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P31.T25S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
θx,θy |
|
|
运动和定位 |
|||
标称偏转角度 |
20或±10 |
mrad±20% |
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偏转角度 |
25或±12.5 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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|
闭/开环分辨率 |
2/1 |
µrad |
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闭环线性度 |
0.5/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.2/- |
%F.S. |
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机械性能 |
|||
空载谐振频率 |
0.4 |
kHz±20% |
|
加载后谐振频率 |
50 |
Hz±20% |
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闭/开环空 |
50/3.2 |
ms±20% |
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空载工 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
||
驱动性能 |
|||
静电容量 |
7.2 |
μF/轴±20% |
|
其它 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
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外形尺寸 |
90×63 |
mm |
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重量 |
700 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
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| Step |
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