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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电物镜定位器 >> XP-721压电物镜定位器
XP-721系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
XP-721系列为小体积常规型压电物镜定位器，采用分离式螺纹适配器设计，可与多种显微镜配套使用。种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。
特点
• Z向运动，行程100μm • 承载0.2kg • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好
产品运动示意图
可装配多种品牌、尺寸的物镜
快速安装、高稳定性、长使用寿命
XP-721压电物镜定位器为通用型显微成像聚焦定位器，采用压电陶瓷驱动，可实现的扫描范围为100μm。
产品通过螺纹适配器安装于透镜连接架与物镜间。将物镜定位器主体通过螺纹连接到透镜转动架上，再将物镜连接到定位器上，这种设计使得拆卸物镜时不需要拆下其它组件。
物镜定位器内置高可靠性压电陶瓷，与优异的机械结构相结合，具有稳定性好、使用寿命长等优点。
频率负载曲线
应用实例-倒置光学显微镜
XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。
响应时间可调节
配不同控制与承载响应时间可调。
应用
• 三维成像 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
驱动方式
闭环曲线
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-721.S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
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行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
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|
分辨率 |
10/3 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.5 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10/2 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
60/>60 |
Hz±20% |
100%行程 |
20/>20 |
||
承载能力 |
0.2 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
67.5×45×58 |
mm |
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重量 |
450 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器**** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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