P73压电物镜定位器-芯明天

压电纳米定位

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P73 系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可选 200μm、500μm、1mm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。

特点

• 可选行程 200μm、500μm、1mm • 最大承载 0.4kg • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好

产品组成及运动方向

可装配多种品牌、尺寸的物镜

螺纹适配器便于安装

P73 物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如 M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等，也可定制，便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

频率负载曲线

表面分析实例

响应时间可调节

配不同控制与承载响应时间可调。

应用

• 三维成像 • 干涉 / 计量 • 生物科技• 表面结构分析 • 共焦显微 • 半导体测试

驱动方式

闭环曲线

技术参数

型号	S-闭环 K-开环	P73.Z200S P73.Z200K	单位
运动自由度		Z
标称行程范围（0~120V）		160	μm±20%
行程范围（0~150V）		200	μm±20%
传感器类型		SGS/-
闭/开环分辨率		11/5	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	%F.S.
推/拉力		80/10	N
运动方向刚度		0.25	N/μm±20%
空载谐振频率		280	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		20/10	ms±20%
闭环空载工作频率	10% 行程	40	Hz±20%
	100%行程	10
最大承载		0.2	kg
静电容量		7.2	μF±20%
材质		钢、铝
重量		360	g±5%

型号	S-闭环 K-开环	P73.Z500S P73.Z500K	单位
运动自由度		Z
标称行程范围（0~120V）		400	μm±20%
行程范围（0~150V）		500	μm±20%
传感器类型		SGS/-
闭/开环分辨率		18/7	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	%F.S.
推/拉力		80/10	N
运动方向刚度		0.2	N/μm±20%
空载谐振频率		170	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		20/10	ms±20%
闭环空载工作频率	10% 行程	40	Hz±20%
	100%行程	10
最大承载		0.4	kg
静电容量		14	μF±20%
材质		钢、铝
重量		450	g±5%

型号	S-闭环 K-开环	P73.Z1000S P73.Z1000K	单位
运动自由度		Z
标称行程范围（0~120V）		800	μm±20%
行程范围（0~150V）		1000	μm±20%
传感器类型		SGS/-
闭/开环分辨率		36/10	nm
闭环线性度		0.5/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.3/-	%F.S.
推/拉力		20/5	N
运动方向刚度		0.02	N/μm±20%
空载谐振频率		110	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		120/10	ms±20%
闭环空载工作频率	10% 行程	-	Hz±20%
	100%行程	-
最大承载		0.12	kg
静电容量		43.2	μF±20%
材质		钢、铝
重量		786	g±5%