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XD-581 系列压电偏摆台，是一维 θx 偏转台，它是专为 大负载应用而设计，如模拟空间绕动应用。

XD-581 系列压电偏摆台的负载方式是侧卧式，它的负 载能力达 7kg，100V 驱动电压下的偏转角度为 0.19mrad， 对应的闭环阶跃时间为 17ms。

特点

• θx偏转，角度位移达0.19mrad • 承载可达7kg • 闭环定位精度高 • 外形坚固 • 响应速度快

可定制

参数接受定制。

应用

• 光束扫描 • 图像处理/稳定 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

技术参数

型号	XD-581	单位
运动自由度	θx
标称偏转角度 （0~+100V）	0.19	mrad±20%
传感器类型	CAP
闭环线性度	1.25	%F.S.
闭环重复定位精度	1	%F.S.
空载谐振频率	1000	Hz±20%
加载7kg谐振频率	210	Hz±20%
空载闭/开环阶跃时间	17/16	ms±20%
承载能力	7	kg
静电容量	40	μF±20%

注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大 驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建 议驱动电压在 0~120V。

 

尺寸图

 

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