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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> XD-301系列压电偏转镜
XD-301压电偏转镜是专为大负载及高动态应用而设计，它的偏转角度可达2.5mrad，可承载Φ110×10mm镜片（约245g)。0.2mrad偏转角度的响应时间为2ms，±0.1mrad 偏转角度下的使用频率可达250Hz。
特点
• θx,θy二维偏转，偏转角度2.5mrad • 可承载Φ110×10mm镜片（约245g) • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间
闭环定位精度
闭环重复度
开/闭环曲线
闭环分辨率
应用
• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉
产品测试
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
XD-301.T2S |
单位 |
尾缀K-开环 |
XD-301.T2K |
||
运动自由度 |
θx θy |
|
|
偏转角度 |
2 |
mrad±20%, typ. |
|
偏转角度 |
2.5 |
mrad±20%, max |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭环分辨率 |
<1 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
空载谐振频率 |
1700 |
kHz±20% |
|
带载245g谐振频率 |
740 |
kHz±20% |
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闭环响应速度 |
2（摆角0.2mrad） |
ms±20% |
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使用频率 |
250（摆角±0.1mrad） |
Hz±20% |
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静电容量 |
7.2 |
μF/轴±20% |
|
承载 |
245（约φ110× |
g |
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材质 |
铝 |
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|
重量 |
约2 |
kg±20% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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