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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> P54系列压电偏摆台
压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
P54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特点
• θx, θy偏摆运动，偏转角度可达±1mrad/轴 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄
产品运动示意图
频率负载曲线
闭环曲线
闭环传感输出监测电压与偏摆台输出偏转角度成线性关系。
闭环传感精度高
P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。
采用压电陶瓷驱动实现±1mrad的偏转角度，分辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。
台体薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的理想选择。
应用实例-激光合束/军事激光武器
P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。
负载大镜片
P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
驱动控制
P54压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。
应用
• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
驱动测试
校准调测
震动实验
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P54.T2S |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx，θy |
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运动和定位 |
|||
标称偏转角度范围 |
±0.8 |
mrad/轴±20% |
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偏转角度范围 |
±1 |
mrad/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
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偏转分辨率 |
0.25/0.05 |
µrad |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复 |
0.1/- |
%F.S. |
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机械性能 |
|||
推/拉力 |
40/8 |
N |
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运动方向刚度 |
0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
20/3.5 |
ms±20% |
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空载工 |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
||
承载能力 |
1 |
kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
|
其它 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸 |
125×125×20 |
mm |
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通光孔尺寸 |
80×80， |
mm |
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重量 |
510 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器**** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***代表通光孔4个角弧形半径为10mm。
**** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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