P51系列压电偏摆台-芯明天

压电纳米定位

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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。

P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特点

• ±1.1mrad/轴的θx, θy偏摆运动及Z向100μm直线运动 • 闭环定位精度高 • 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 响应速度快

产品运动示意图

P51压电偏摆台运动方式

频率负载曲线

闭环曲线

闭环传感输出监测电压与偏摆台输出偏转角度成线性关系。

超高导向精度、分辨率高、闭环精度高

P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达100μm。

P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用有限元分析进行优化，具有高的刚度以及导向精度。

可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其具有高的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

仿真分析

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许高精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超薄设计适用显微应用且可负载大镜片

P51压电偏转台中心通光孔达80×80mm，适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。 P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，易于集成到高精度显微镜中。

驱动控制

P51压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，并配合Z轴升降运动，再通过控制电压的大小，对于固定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。

应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

驱动测试

校准调测
震动实验

技术参数