P36系列压电偏转镜-芯明天

压电纳米定位

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压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P36系列压电偏转镜/移相器为θx,θy偏转/俯仰及Z轴升降台，台体中心通孔，产品体积小巧、结构紧凑，可以实现的偏转范围为0.7mrad， Z轴直线运动行程为10μm，产品为开环版本，具有高的分辨率及响应速度，是干涉扫描移相的。

P36多轴俯仰/偏转平台及Z向定位台是基于压电三脚设计的快速、紧凑型元件。它可提供活塞运动范围达 10μm，偏转移动可达1.2mrad（=2.4mrad光束偏转），具有亚毫秒级响应及稳定。三脚式设计的特点是在较宽的温度范围具有优化的角度稳定性。该压电偏转镜设计用于直径达20mm的镜子或光学元件，可安装于方向；中空设计适于透射光应用（例如，光过滤）。

P36压电偏转镜的设计具有几个优势：体积小巧；两轴具有相同的大小及相同的动态性能；快的响应及好的线性度。它也防止了偏振旋转。

特点

• θx,θy二维偏转及Z向升降运动，偏转角度0.7mrad，直线位移8μm • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间

运动方式

P36压电偏转镜运动方式

频率负载曲线

可配套镜片转接座

P36压电偏转镜/移相器可选择配套镜片转接座方便镜片的安装与固定。

开环、高动态性、中心通孔

P36压电偏转镜/移相器为多轴俯仰升降台，产品体积为Ø20×19.5mm，可以实现θx, θy轴0.7mrad的偏转，Z轴12μm的升降，开环版本具有高的分辨率及快的响应速度，三角架结构设计具有宽的使用温度范围。

台体中心带有通孔孔径为Ø10mm，适用于需要透光的应用，如光过滤等。

P36系列压电偏转镜/移相器有两个版本可选，开环Z向平台或开环Z向/俯仰/偏转台，Z向升降平台提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动），Z向升降/俯仰/偏转定位台可实现垂直（活塞运动）定位及俯仰/偏转定位。

驱动控制

P36压电偏转镜/移相器内部三支压电陶瓷促动器并联连接，提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动）时，只需一个驱动通道。提供Z向升降/俯仰/偏转运动时，需三个驱动通道。

相位驱动控制

P36压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，与Z向升降运动配合，再通过控制电压的大小，对一定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。

应用

• 图像处理/稳定 • 干涉法 • 激光扫描/光束偏转 • 激光调谐 • 光过滤/开关 • 光束稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉

产品测试

技术参数（θx,θy,Z运动）

型号	尾缀K-开环	P36.ZT1K	单位
运动自由度		θx,θy,Z
运动和定位
θx, θy偏转角度（0~+120V）		0.55	mrad±20%
Z向直线行程（0~+120V）		8	µm±20%
θx, θy偏转角度（0~+150V）		0.7	mrad±20%
Z向直线行程（0~+150V）		10	µm±20%
θx,θy偏转分辨率		0.02	µrad
Z向直线分辨率		0.1	nm
机械性能
空载谐振频率		θx3.2/θy3.5/Z7.5	kHz±20%
空载阶跃时间		0.5	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	1500	Hz±20%
	100%行程	150
驱动性能
静电容量		0.5	μF/轴±20%
其它
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢
外形尺寸（外径-内径/高）		20-10/19.5	mm
重量		80	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
电压连接器***		LEMO

技术参数（Z向运动）

型号	尾缀K-开环	P36.Z1K	单位
运动自由度		Z
运动和定位
Z向直线行程（0~+120V）		8	µm±20%
Z向直线行程（0~+150V）		10	µm±20%
Z向直线分辨率		0.1	nm
机械性能
空载谐振频率		7.5	kHz±20%
空载阶跃时间		0.5	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	2000	Hz±20%
	100%行程	200
驱动性能
静电容量		0.5	μF/轴±20%
其它
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢
外形尺寸（外径-内径/高）		20-10/19.5	mm
重量		50	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
电压连接器***		LEMO