P22系列压电偏转镜-芯明天

压电纳米定位

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压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达6mrad, 具有快的响应速度（毫秒至微秒级），适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及振动消除）及光学和样品的静态定位。

特点

• θx一维偏转，偏转角度3mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高 • 外形超薄 • 亚毫秒响应时间

运动方式

P22压电偏转镜运动方式

频率负载曲线

闭环曲线

闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。

小体积、高动态、开环闭环可选

压电驱动俯仰/偏转台（快反镜/倾斜镜，光束偏转，相移器）提供比音圈电机类产品高的加速度及带宽，θx轴偏转范围 3mrad，偏转分辨率达0.1μrad，开环闭环可选，闭环传感器包括应变传感器及电容传感器，可获得高的定位精度。超小体积设计，具有快的响应速度，可带载Ø15mm的镜片实现0.8ms的阶跃时间。

结构原理

平台由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。

如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用差分驱动压电偏转镜。

应用

• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光过滤/转换 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜

产品测试

技术参数

型号	尾缀S-闭环	P22.U3S	P22.U3K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		θx	θx
运动和定位
标称偏转角度（0~+120V）		2.5	2.5	mrad±20%
偏转角度（-20~+150V）		3	3	mrad±20%
传感器类型		SGS	-
分辨率		0.3	0.1	µrad
闭环线性度		0.2	-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.15	-	%F.S.
机械性能
空载谐振频率		3	3	kHz±20%
空载阶跃时间		3	0.8	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	100	>100	Hz±20%
	100%行程	40	>40
驱动性能
静电容量		1.8	1.8	μF±20%
其它
工作温度范围**		-20~80		°C
材质		钢
外形尺寸（长×宽×高）		33×14×24		mm
重量		80		g±5%
出线长		1.5		m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO