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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> P21系列压电旋转台
压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
P21系列压电旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，P21系列旋转角度可达7.5mrad，承载能力达2kg。
特点
• θz旋转，角度位移达7.5mrad • 承载可达2kg • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 体积小巧
产品运动示意图
闭环曲线
频率负载曲线
小体积、高分辨率、高精度
P21 θz一维旋转台采用机构放大设计原理，可以实现7.5mrad的旋转角度，体积小巧、结构紧凑，尺寸仅为60×60×15mm，易于集成到精密旋转设备中。 采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度，在光路精密角度调整中起着重要的作用。
应用实例-精密旋转定位
P21系列压电旋转台可以与芯明天平台或倾斜台配合使用，组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。
应用
• 光路调整 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量等
驱动控制方式
P21为θz一维压电旋转台，单通道压电控制器即可驱动控制，闭环版本P21配套E01系列闭环控制器，实现θz高精度旋转定位控制。
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P21.R7S |
P21.R7K |
单位 |
尾缀K-开环 |
||||
运动自由度 |
θz |
θz |
|
|
运动和定位 |
||||
标称旋转角度 |
6 |
6 |
mrad±20% |
|
旋转角度 |
7.5 |
7.5 |
mrad±20% |
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
分辨率 |
0.4 |
0.2 |
µrad |
|
闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
|
机械性能 |
||||
推/拉力 |
10/5 |
10/5 |
N |
|
运动方向刚度 |
1 |
1 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
1.1 |
1.1 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30 |
1.5 |
ms±20% |
|
空载工 |
10%行程 |
50 |
>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
>15 |
||
承载能力 |
2 |
2 |
kg |
|
驱动性能 |
||||
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
||||
工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×15 |
60×60×15 |
mm |
|
重量 |
105 |
105 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压 |
LEMO |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。 注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
频率负载曲线
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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