压电 纳米 定位

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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。

N50系列为θx, θz轴偏摆/旋转台，超强的承载能力，承载可达60kg，偏转角度±0.25mrad。可带载20kg负载高频率使用。产品主要应用于大负载偏摆/旋转运动实验，比如模拟空间扰动实验等。

特点

• θx, θz偏摆/旋转，角度位移达±0.25mrad/轴 • 承载可达60kg • 闭环定位精度高 • 外形坚固 • 响应速度快

产品运动示意图

频率负载曲线

闭环曲线

闭环传感输出监测电压与偏摆台输出偏转角度成线性关系。

大承载、高精度、高频率

N50 θx, θz二维偏摆/旋转台是为空间扰动实验而设计的大承载偏摆系统，具有电容闭环幅值校正功能，可以带60kg负载做精密偏转，行程可达±0.25mrad。

N50压电偏转台采用有限元分析对结构进行优化，具有高的刚度，即使其在负载的情况下仍然可以实 现高动态，频率可以达到500Hz。

可选择多种传感器类型，如电容、电感、应变计等。该产品已经成功应用于模拟空间扰动等实验中。

驱动测试实验

N50大负载θx, θz二维偏摆/旋转台需要三通道控制器进行驱动控制，根据所需使用频率配套不同功率的压电控制器。如100~200Hz使用频率，我们推荐配套E00/E01系列控制器选择E05驱动模块。

可定制

N50压电偏摆/旋转台参数可接受定制。

应用

• 光束扫描 • 图像处理/稳定 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

20kg负载后使用频率与振动幅度关系

角振幅度 mrad±20%	频段 θx Hz±20%	频段 θz Hz±20%
±0.1	0-100	0-130
±0.05	0-300	0-180
±0.02	0-400	0-200
±0.01	0-500	0-210

技术参数

型号	尾缀C-闭环	N50.UR0C N50.UR0K		单位
	尾缀K-开环
运动自由度		θx,θz
运动和定位
标称偏摆/旋转 角度（0~+120V）		0.4		mrad/轴±20%
偏摆/旋转角度 （-20~+150V）		0.5		mrad/轴±20%
传感器类型		CAP/-
偏转分辨率		0.02/0.01		µrad
闭环线性度		0.3/-		%F.S.
闭环重复定位精度		0.2/-		%F.S.
机械性能
空载谐振频率		0.75		kHz±20%
空载阶跃时间		30/15		ms±20%
空载工 作频率*	10%行程	100/>100		Hz±20%
	100%行程	50/>50
承载能力		60		kg
驱动性能
静电容量		30/轴		μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80		°C
材质		钢、铝
外形尺寸 （长×宽×高）		225×225×90		mm
重量		12.5		kg±5%
出线长		1.5		m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO

*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。

** 可定制低温版本及高真空版本。

*** 连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

 

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