型号

闭环-S
开环-K

XF801-S
XF801-K

单位

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

X、Y行程范围
（0 ~+120 V）

150

µm±20%

Z行程范围
（0 ~+120 V）

80

µm±20%

X、Y行程范围
（0~+150 V）

187.5

µm±20%

Z行程范围
（0~+150 V）

100

µm±20%

θx、θy偏摆角度
（0 ~+120 V）

±0.9/轴

mrad±20%

θz标称偏摆角度
（0 ~+120 V）

6/轴

mrad±20%

θx、θy偏摆角度
（0~+150 V）

±1.1/轴

mrad±20%

θz偏摆角度
（0~+150 V）

7.5/轴

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

X、Y分辨率

8/5

nm

Z分辨率

3.5/0.2

nm

θx、θy分辨率

0.25/0.08

urad

θz分辨率

0.4/0.2

urad

闭环线性度

0.15/-

%F.S.

重复定位精度

0.08/-

%F.S.

空载谐振频率

200

Hz±20%

承载

0.5

kg

静电容量

X、Y、θx、θy：3.6 
Z：5.4 
θz：1.8

μF/轴±20%

材质

钢、铝

重量

1.8

kg±5%