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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> XD801-D1 压电六轴运动平台
特点
• X、Y、Z、θx、θy、θz 六轴运动
• 直线行程 6μm@150V
• 偏转行程 1mrad@150V
• 承载能力 500g
技术参数
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型号 |
S-闭环 K-开环 |
XD801.XYZTRS-D1 XD801.XYZTRK-D1 |
单位 |
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运动自由度 |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
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运动和定位 |
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X,Y,Z轴行程范围（0~+150V）
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6 |
μm±20% |
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θx,θy,θz轴偏转角度（0~+150V）
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1 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环偏转分辨率 |
0.15/0.01 |
μrad |
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闭/开环直线分辨率 |
1.5/0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.25 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
%F.S. |
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机械性能 |
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空载谐振频率 |
X2330/Y895/Z1425/ |
Hz±20% |
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空载闭环阶跃时间 |
25 |
ms |
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承载能力 |
500 |
g |
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驱动性能 |
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静电容量，XYZ |
1.8 |
μF/轴±20% |
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静电容量，θx、θy、θz |
3.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
440（不含线） |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器** |
DB15-HD（针） |
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尺寸图
尺寸图、参数表、使用说明书下载
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| Step | |
| 参数表/Specs Sheet | |
| 使用说明书/Manual |
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