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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >>XD201 压电偏摆台（定制版）
特点
• 三维 θx、θy 及 Z 向运动 • 直线行程可达 250μm • 偏转范围可达 2.5mrad/ 轴 • 中心通孔 70×70mm
技术参数
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型号 |
S-闭环 K-开环 |
XD201.S-D1 XD201.K-D1 |
XD201.S-D2 XD201.K-D2 |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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标称行程范围（0 ~+120V） |
100 |
200 |
μm±20% |
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行程范围（0~+150V） |
125 |
250 |
μm±20% |
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标称偏摆角度（0~+120V） |
±0.5/轴 |
±1/轴 |
mrad±20% |
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偏摆角度（0~+150V） |
±0.62/轴 |
±1.25/轴 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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Z闭/开环分辨率 |
3/0.4 |
6/0.6 |
nm |
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θx、θy闭/开环分辨率 |
0.05/0.04 |
0.1/0.06 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.04/- |
0.06/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
500 |
260 |
Hz±20% |
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最大承载 |
2.5 |
1.5 |
Kg |
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静电容量 |
10.8/轴 |
21/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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尺寸图
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| Auto CAD PDF |
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet | |
| 使用说明书/Manual |
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