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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> N90.XYZTR2六自由度并联机构
N90系列六自由度并联机构，是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度高，是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。
N90.XYZTR2S/K是N90系列的一种。
特点
• 六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动 • 直线行程25μm，角度偏转1mrad • 小耦合 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度 • 误差无积累
六轴并联式机构
N90系列纳米定位台采用六轴并联式设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~6维的精密直线及角度运动。
该系列六轴并联机构可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。
传感器类型
应用案例-显微成像台
六自由度纳米工作台作为微小器件表面形貌测量的全场并行共焦显微镜关键部件，它的驱动技术及驱动系统可实现微动平台的快速调整、高精度定位和微型化。
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
N90.XYZTR2S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
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运动和定位 |
|||
X、Y轴行程范围 |
±12.5 |
µm±20% |
|
Z轴行程范围 |
±6.4 |
µm±20% |
|
θx,θy 轴偏摆角度 |
±0.32 |
mrad±20% |
|
θz 轴旋转角度 |
±0.48 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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θx,θy 轴偏摆分辨率 |
0.04/0.02 |
μrad |
|
θz 轴旋转分辨率 |
0.06/0.03 |
μrad |
|
X、Y轴直线分辨率 |
1.6/0.8 |
nm |
|
Z轴直线分辨率 |
0.8/0.4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.25/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
机械性能 |
|||
运动方向刚度 |
58 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
1 |
kHz±20% |
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承载能力 |
5 |
kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
6×3.6 |
μF±20% |
|
其他 |
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工作温度范围* |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
1150 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器** |
LEMO |
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*可定制低温版本及高真空版本。
**连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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