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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> N20系列压电旋转台
压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
N20系列压电旋转台为一维θz旋转台，中心透空孔直径20mm，产品体积小巧，旋转角度可达0.5mrad，重复定位精度达0.2%F.S.,可带动镜片做精密旋转运动。
特点
• θz旋转，旋转角度可达0.5mrad • 通孔直径：Ø20mm • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 体积小巧
产品运动示意图
闭环曲线
频率负载曲线
小体积、中心通孔、高分辨率及可靠性
N20为一维θz高精度旋转平台，旋转轴位于正中心，中心通孔用于透射光应用，采用有限元分析对微结构进行优化，满足动态性以及平面导向精度。
平台内部采用高可靠性压电陶瓷作为驱动元件，台体采用的柔性铰链机构具有无摩擦无回弹等特点，使其具有高的分辨率以及可靠性。
旋转台面固定安装孔便于与其他台体机构集成配套，也可根据用户的需求进行OEM定制。
阶跃时间短
N20系列压电旋转台行程阶跃时间约0.7ms。
应用
• 光路调整 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量等
大承载力适用于精密加工
N20系列压电旋转台的旋转角度可达0.50mrad，优异的铰链导向机构设计，使其承载力可达4kg，并且具有高稳定性等特点，适用于科研及工业上精密操作、光路调整等应用。
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
N20.R0S |
N20.R0K |
单位 |
尾缀K-开环 |
||||
运动自由度 |
θz |
θz |
|
|
运动和定位 |
||||
标称旋转角度 |
0.4 |
0.4 |
mrad±20% |
|
旋转角度 |
0.5 |
0.5 |
mrad±20% |
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
分辨率 |
0.02 |
0.01 |
µrad |
|
闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
|
机械性能 |
||||
推/拉力 |
50/10 |
50/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
5 |
5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
2 |
2 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
5 |
0.7 |
ms±20% |
|
空载工 |
10%行程 |
200 |
>200 |
Hz±20% |
100%行程 |
30 |
>30 |
||
承载能力 |
4 |
4 |
kg |
|
驱动性能 |
||||
静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF±20% |
|
其他 |
||||
工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢 |
钢 |
|
|
外形尺寸, |
(50-20)×20 |
(50-20)×20 |
mm |
|
重量 |
230 |
230 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电 |
LEMO |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
频率负载曲线
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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