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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电偏转镜/偏摆台 >> 二维压电偏摆台（定制版）
特点
• 二维偏转运动 • 行程可达 2.5mrad • 承载可达 5kg • 分辨率达 50nrad
技术参数
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参数 |
参数值 |
单位 |
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运动方向 |
θX、θY |
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标称行程范围(0~120V) |
±1 |
mrad±20% |
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行程范围(-20~150V) |
±1.25 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS |
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闭/开环分辨率 |
0.25/0.05 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
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推/拉力 |
100/20 |
N±20% |
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静电容量 |
14.4/轴 |
μF±20% |
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材料 |
钢、铝 |
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承载 |
5 |
kg±5% |
尺寸图
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