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压电马达内部仍为压电陶瓷驱动,它分为直线运动型及角度运动型,利用粘滑原理,通过压电陶瓷的快速振动,达到微纳米级的步进,总直线运动行程范围可达几百毫米,角度行程可达360度。

直线压电马达
直线压电马达

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偏转压电马达
压电马达偏转镜

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