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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电物镜定位器 >> P79系列Z向聚焦压电位移台
P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台，它的移动范围可达187.5µm，定位分辨率可达3nm。
P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用，在宏动平台进行样品位置的粗调后，再通过P79压电扫描台进行样品位置的调整，定位精度达纳米量级。
两款规格型号、开环/闭环可选
P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择，分别为100μm及187.5μm，可根据调整的运动范围进行选择。
另外，P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快，且分辨率高；对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，装配在平台适合的位置，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了定位精度。
特点
• 一维Z向运动，行程187.5μm • 承载2kg • 通孔尺寸：128.5×86.5mm • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高
产品运动示意图
机构放大式驱动设计，大行程
大通孔、快速聚焦、Z向、精密定位
P79系列压电扫描台具有方形通孔，通孔尺寸为128.5×86.5mm，这种大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构，如多井控制盘。
压电陶瓷驱动以及无摩擦柔性铰链结构使其具有快的响应速度，Z轴步进速度和稳定时间仅为马达驱动的1/20，提高了成像捕获能力和生产能力。
频率负载曲线
表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命
压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷，陶瓷抵抗外部环境的能力高且无漏电现象。
应用
• 荧光显微 • 共焦显微 • 精密定位/样品检测 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 自动聚焦系统 • 表面检测/3D成像 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物科技
技术参数（P79.Z100，行程100μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P79.Z100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
128.5×86.5 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/3 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/15 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.2 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
15/2.3 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
||
承载能力 |
2 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
210×138×27.3 |
mm |
|
重量 |
700 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（P79.Z200，行程187.5μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P79.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
150 |
µm±20% |
|
行程范围 |
187.5 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
128.5×86.5 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
8/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
42/18 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
25/5 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
25 |
Hz±20% |
100%行程 |
5 |
||
承载能力 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
11 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
210×138×27.3 |
mm |
|
重量 |
800 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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