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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电物镜定位器 >> XD701压电物镜驱动器（定制版）
XD701 压电物镜驱动器是专为多头物镜使用而设计，它预留多种安装固定孔，易于不同物镜间的更换。
特点
• 行程达 200μm • 中心通孔为 Ф30mm • 承载能力可达 1.5kg • 可选配闭环传感器
技术参数
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名称 |
闭环参数 |
单位 |
|
标称行程范围（0 ~+120 V） |
160 |
μm±20% |
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最大行程范围（0~+150 V） |
200 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ф30 |
mm±0.05 |
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闭/开环分辨率 |
7 |
nm |
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闭环线性度 |
0.05 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.01 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
330 |
Hz±20% |
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最大承载 |
1.5 |
Kg |
|
静电容量 |
10.8 |
μF±20% |
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet | |
| 使用说明书/Manual |
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