P76压电物镜定位器-芯明天

压电纳米定位

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P76系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

P76系列为大负载压电物镜定位器，承载力可达500g，并带动大负载物镜做高速运动。闭环精度高，满行程线性度达20nm，可进行激光聚焦，已广泛应用于激光晶圆切割等半导体器件及微电子加工领域中。P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。

P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

特点

• Z向运动，行程100μm • 承载0.5kg • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好

产品组成及运动方向

产品运动示意图

可装配多种品牌、尺寸的物镜

大负载、高频响、高分辨率

P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到阶跃时间。坚固的设计提供了稳定时间及扫描频率，即使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计，使它具有较高的刚度，同时保证了优异的导向精度和动态性。

P76压电物镜定位器的通光孔径为22mm，负载为500g，它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。

频率负载曲线

应用实例-超精密激光加工

响应时间可调节

配不同控制与承载响应时间可调。

应用

• 三维成像 • 自动聚焦系统 • 晶圆切割 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 共焦显微 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

驱动方式

闭环曲线

技术参数

型号	尾缀S-闭环	P76.Z100S P76.Z100K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		Z
运动和定位
标称行程范围（0~120V）		80	µm±20%
行程范围（0~150V）		100	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		5/2.5	nm，typ.
闭环线性度		0.05/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.02/-	%F.S.
机械性能
运动方向推/拉力		70/10	N
运动方向刚度		0.8	N/µm±20%
空载谐振频率		0.8	kHz±20%
空载阶跃时间		5/2	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	400/>400	Hz±20%
	100%行程	50/>50
承载能力		0.5	Kg
驱动性能
静电容量		7.2	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢、铝
外形尺寸（直径×高）		67×46.5	mm
通光孔直径***		22	mm
物镜直径		39	mm
重量		520	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器****		LEMO