P72压电物镜定位器-芯明天

压电纳米定位

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P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

72.Z100系列为小体积高动态压电物镜定位器，Z轴行程100μm，优异的平行四边形设计原理，无摩擦、无空回，响应速度较快，采用分离式螺纹适配器，可适配多种型号的显微镜。P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。

特点

• Z向运动，行程100μm • 承载0.2kg • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 开环、闭环可选

产品组成及运动方向

产品运动示意图

可装配多种品牌、尺寸的物镜

体积小巧、易集成、高动态、直线性高

P72压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑，可实现行程100μm的位移。多种螺纹牙连接器可选，易于与其他光学显微镜等集成。

台体采用柔性铰链机构，无摩擦且具有高的分辨率。由于其空载谐振频率可达350Hz，且可带载200g负载作高速精密运动，在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛的应用。

可选择闭环版本，实现高的定位精度。

频率负载曲线

P72闭环阶跃时间图

P72满行程阶跃时间约10ms。

响应时间可调节

配不同控制与承载响应时间可调。

应用

• 三维成像 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

驱动方式

闭环曲线

技术参数

型号	尾缀S-闭环	P72.Z100S P72.Z100K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		Z
运动和定位
标称行程范围（0~120V）		80	µm±20%
行程范围（-20~150V）		100	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		5/2.5	nm，typ.
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	%F.S.
机械性能
运动方向推/拉力		110/15	N
运动方向刚度		1.4	N/µm±20%
空载谐振频率		0.35	kHz±20%
空载阶跃时间		10	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	50/>50	Hz±20%
	100%行程	15/>15
承载能力		0.2	Kg
驱动性能
静电容量		3.6	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢
外形尺寸（长×宽×高）		48×40×22	mm
通光孔直径***		15	mm
重量		150	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器****		LEMO