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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 快速刀具定位器 >>P93.X70快速刀具定位台
快速刀具定位器是为精密车削加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动刀具在运动方向快速微进给运动，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工。
特点
• 超高精度 • 承载能力大 • 闭环精度高 • 高刚度 • 运动行程81µm
防尘防液滴、高刚度
快速刀具定位器可进行防尘防液滴处理，使其能工作在湿度环境。 定位器台体材料采用不锈钢材质以加工过程中的稳定性，可以结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。
采用大出力压电陶瓷
快速刀具定位台采用的压电陶瓷的出力是其他压电纳米定位台出力的几倍。
闭环分辨率高
不同于振动加工，刀具位置可以通过内置传感进行 反馈控制，实现纳米级分辨率。
频率负载曲线
定制微结构加工快刀定位台
应用
• 金刚石钻头进给 • 精密金属加工 • 高速工具控制 • FTS快刀伺服车削系统 • 工件定位 • 精密加工与研磨 • 大负载工件精密定位
技术参数
型号 |
尾缀C-电容闭环 |
P93.X70C |
单位 |
尾缀L-电感闭环 |
|||
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
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运动和定位 |
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标称行程范围 |
65 |
µm±20% |
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行程范围 |
81 |
µm±20% |
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传感器类型 |
CAP/LVDT/- |
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分辨率 |
7/10/3 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.05/0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.03/0.05/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
400/50 |
N |
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运动方向刚度 |
5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
50/50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/10/>10 |
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承载能力 |
20 |
Kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
15 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
145.5×60×60 |
mm |
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重量 |
4000 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
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| Step |
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