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压电 纳米 定位 |
产品中心 >>机构放大压电促动器>>P84大行程压电测微头
P84为标准测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷机构相结合，通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的移动，再通过控制驱动电压，使压电陶瓷机构相应伸长或缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节。
宏微复合机构
宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。
压电微调机构
手调测微头
宏微复合机构
配套宏动台可以组成1-3维大行程位移台
通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构，宏微复合机构可以与宏动平台配合使用，组成大行程高精度压电平移台。
技术参数
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型号 |
尾辍S-闭环 |
P84.X100S |
P84.X100K |
单位 |
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尾辍K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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行程范围（粗调+精调） |
13mm+100μm |
13mm+100μm |
mm+μm |
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壳体材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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粗调行程范围 |
13 |
13 |
mm |
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粗调分辨率 |
10 |
10 |
μm |
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驱动方式 |
螺纹副（分厘卡） |
螺纹副（分厘卡） |
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灵敏度 |
<2 |
<2 |
μm |
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读数 |
10 |
10 |
微米/格 |
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螺距 |
0.5 |
0.5 |
mm/rev. |
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精调行程范围 |
0~120 V |
80 |
80 |
μm±20% |
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0~150 V |
100 |
100 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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步进（分辨率） |
7 |
2.5 |
nm, typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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运动方向推力 |
16 |
16 |
N |
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运动方向的刚度 |
1 |
1 |
N/μm±20% |
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承载能力（Z向） |
500 |
500 |
g |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器 |
LEMO |
LEMO |
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尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet | |
| 使用说明书/Manual |
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