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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 位移测量设备/应变传感器 >>E09.Cap电容式测微仪
E09.Cap 电容式非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成，可组成多测量通道数。
特点
模块化设计、自由组拼、高分辨率 、模拟输出 、非接触式测量。
原理
它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。
模块组合
电容测头
典型应用
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可选配测试支架
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应用
• Z向水准测量 • X、Y向定位 • 轴向振动测量 • 热膨胀测量 • 位移台传感器
E09.Cap技术参数
板卡式 |
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型号 |
E09.C1板卡 |
单位 |
量程范围 |
0~200 |
μm |
线性度 |
±0.1 |
μm |
静态分辨率 |
0.0025 |
μm |
动态分辨率（1kHz） |
0.1 |
μm |
传感器直径 |
10 |
mm |
目标直径 |
10 |
mm |
静态重复性 |
0.005 |
μm |
信号温度稳定性 |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
长期稳定性 |
＜0.04 |
%FSO/月 |
带宽 |
2k |
Hz（-3dB） |
工作温度范围 |
+10~+50 |
℃ |
环境湿度 |
<85 |
% |
电压输出范围（模拟） |
0~+10 |
V |
供电 |
±15/±50 |
VDC/mA |
传感器线长 |
1.6 |
m |
板卡尺寸 |
180×130×35 |
mm |
机箱式 |
||
型号 |
E01.Cap |
单位 |
供电电压 |
220VAC |
±10% |
外型尺寸 |
280×360×170 |
mm |
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