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XP-611.XZ压电纳米定位台为二维X轴及Z轴运动压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴及Z轴100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是二维精密定位与扫描的理想选择。
XP-611.XZ二维XZ向运动纳米平移台，产品体积小巧，结构紧凑，可通过与XP-611.Y(即XP-611.X)组合成三维平移台，是1~3维平面精密定位理想的选择。例如干涉光路长度校准、显微或扫描应用中的样品定位等。XP-611.XZ为压电驱动、无摩擦、柔性导向系统，实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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放大机构式驱动示意图 
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高稳定性、高谐振频率、体积小巧 XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，体积小巧、结构紧凑，XP-611.XZ的尺寸仅为 35×35×34.5mm，易于与其他设备集成安装。 该系列定位台采用机构放大原理，位移可达 100μm，空载谐振频率高、响应速度快，100μm的阶跃时间为0.8ms，该系列产品以其高可靠性，高性价比等特点深得工业型用户的青睐。 |
传感器类型 
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频率负载曲线 
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高分辨率 芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构，小巧的体积，100μm 的行程，内置高可靠性压电陶瓷，装配高精度传感器，定位精度可以 达到纳米级，产品一致性良好，已经应用于工业精密自动化加工领 域。 芯明天接受产品定制服务，下图为XP-611的定制型XYZ三维压电平台。 |
高分辨率 
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产品应用
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XP-611全系列产品
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-611.XZ100S |
XP-611.XZ100K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Z |
同S |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
同S |
μm/轴±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
同S |
μm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
7 |
4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
同S |
μrad |
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运动方向刚度 |
0.8 |
同S |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.25/0.2 |
同S |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
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承载 |
0.7 |
同S |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
同S |
μF/轴±20% |
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工作温度范围* |
-20~80 |
同S |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
同S |
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外形尺寸（长×宽×高） |
35×35×34.5 |
同S |
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重量 |
120 |
同S |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
同S |
m±10mm |
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传感/电压连接器** |
LEMO |
同S |
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驱动电压可在0V~150V使用；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
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*可定制低温版本及高真空版本。
**连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
