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XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。
特性
• 最大行程60μm • 亚毫秒响应时间 • 最大承载10kg • 1~3维自由组合 • 重复定位精度可达0.05%F.S.
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1~3维平移 |
产品外观 |
直驱机构式驱动示意图 |
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XP-62X系列压电纳米定位台可通过转接板连接， 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。 多种规格型号可选。 柔性铰链采用精密线切割技术。 |
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大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性 |
传感器类型 |
频率负载曲线 |
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XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz，适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加工等。
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应用
• 半导体技术 •扫描显微 •生物技术 •微加工/精密控制
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应用实例：宏微复合机构 XP-623.XY二维压电纳米定位台配套二维宏动台，应用于精密加工中。
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技术参数
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-620.XS |
XP-621.XS |
XP-623.XS |
单位 |
|
尾缀K-开环 |
|||||
|
运动自由度 |
X |
X |
X |
|
|
|
行程范围 |
0~120V |
12 |
24 |
48 |
μm±20% |
|
0~150V |
15 |
30 |
60 |
μm±20% |
|
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
|
|
|
闭/开环分辨率 |
0.5/0.1 |
1/0.2 |
2/0.3 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
0.2/- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
<30 |
<35 |
μrad |
|
|
运动方向的推/拉力 |
480/160 |
480/160 |
480/160 |
N |
|
|
运动方向的刚度 |
40 |
20 |
10 |
N/μm±20% |
|
|
空载谐振频率 |
4.2 |
3.3 |
2.5 |
kHz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
1.5/0.8 |
3/1.6 |
5/3.2 |
ms±20% |
|
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
300 |
150 |
75 |
Hz±20% |
|
100%行程 |
100 |
50 |
25 |
||
|
承载 |
10 |
10 |
10 |
kg |
|
|
静电容量 |
1.8 |
3.6 |
7.2 |
μF±20% |
|
|
工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
|
材质 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
|
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×45×18 |
78×45×18 |
114×45×18 |
mm |
|
|
重量 |
0.15 |
0.25 |
0.45 |
kg±5% |
|
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
|
|
|
驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
|||||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在远小于谐振频率以下使用，若一定在此频率下工作，输入电压要足够小，请务必从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-620.XS |
XP-621.XS |
XP-623.XS |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
X |
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行程范围 |
0~120V |
12 |
24 |
48 |
μm±20% |
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0~150V |
15 |
30 |
60 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
0.5/0.1 |
1/0.2 |
2/0.3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
<30 |
<35 |
μrad |
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运动方向的推/拉力 |
480/160 |
480/160 |
480/160 |
N |
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运动方向的刚度 |
40 |
20 |
10 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
4.2 |
3.3 |
2.5 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
1.5/0.8 |
3/1.6 |
5/3.2 |
ms±20% |
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闭环空载工作频率* |
10%行程 |
300 |
150 |
75 |
Hz±20% |
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100%行程 |
100 |
50 |
25 |
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承载 |
10 |
10 |
10 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
3.6 |
7.2 |
μF±20% |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
60×45×18 |
78×45×18 |
114×45×18 |
mm |
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重量 |
0.15 |
0.25 |
0.45 |
kg±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
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驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在远小于谐振频率以下使用，若一定在此频率下工作，输入电压要足够小，请务必从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
