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P18.X600一维X轴压电扫描台，内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，具有较高的重复定位精度和动态定位性能。
产品特点
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大负载、频率响、高分辨率 P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，P18.X900可以实现1.11mm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18.X900采用独特的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，承载能力可达1kg，空载谐振频率达120Hz，配套芯明天大功率控制器，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用的理想选择。
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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应用实例-纳米光刻 在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.X600S |
P18.X600K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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运动和定位 |
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标称行程范围（0~120V） |
600 |
600 |
µm±10% |
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行程范围（-20~150V） |
740 |
740 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
Ø35 |
Ø35 |
mm±0.05 |
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分辨率 |
15 |
5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.24 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
150/150 |
150/150 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.3 |
0.3 |
kHz±20% |
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承载能力 |
2 |
2 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
42 |
42 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
100×100×29.5 |
100×100×29.5 |
mm |
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重量 |
380 |
380 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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说明：2路控制（带有恒压控制） |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
