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特点：
行程范围可达110µm
Z向分辨率可达4nm
承载能力可达1kg
通孔尺寸为120×70mm
高度仅25mm
应用于Z向显微扫描
应用：
医疗显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦系统、半导体测试等。
压电扫描台P78.Z100-D1是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达110µm。
压电扫描台P78.Z100-D1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。
压电扫描台P78.Z100-D1可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。
压电扫描台P78.Z100-D1的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有极高的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构更紧凑、响应速度更快。
压电扫描台P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D压电控制器使用，整个压电显微聚焦的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。
E53.D压电控制器
P78.Z100-D1压电扫描台
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型号 |
S-闭环 |
P78.Z100S-D1 |
P78.Z100K-D1 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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运动与定位 |
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行程范围（0 ~+120 V） |
80 |
80 |
µm±20% |
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行程范围（-20~+150 V） |
110 |
110 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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|
通孔尺寸 |
120×70 |
120×70 |
mm |
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分辨率 |
7 |
4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
||||
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运动方向推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
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运动方向刚度 |
1.5 |
1.5 |
N/um±20% |
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空载谐振频率 |
200 |
200 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30 |
5 |
ms |
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空载工作频率 |
10%行程 |
50Hz |
>50 |
Hz±20% |
|
100%行程 |
15 |
>15 |
Hz±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
Kg, max |
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驱动性能 |
||||
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长宽高） |
154×136×25 |
154×136×25 |
mm |
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|
重量 |
560 |
560 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器 |
LEMO |
LEMO |
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