压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,偏转镜具有较好的运动精度和高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P31俯仰/偏转镜系统可提供光束偏转角度达50mrad,这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计,两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点,具有高分辨率及高定位精度等特点。
产品特点
θx,θy二维偏转,偏转角度25mrad |
闭环定位精度高 |
分辨率高 |
温度稳定性高 |
亚毫秒响应时间 |
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运动方式 |
结构原理 压电偏转镜(两轴运动)是基于平行运动学设计,具有共面轴及移动面。四个执行机构(压电促动器)以90°角平分放置,成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现,采用桥式连接电路控制。 |
结构原理 |
高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性
P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器,被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷,可提供好的稳定性及可靠性。 |
驱动方式 P31压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入,通过控制电压的大小,对不同的光路距离,可进行一定范围的圆形范围扫描,如下图所示。 |
可定制镜片转接座 |
产品测试 |
产品测试 |
产品应用
图像处理/稳定 |
光束扫描 |
隔行扫描、抖动 |
光束偏摆/稳定 |
光学、激光扫描、通信 |
光学滤波器/开关 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微镜 |
自适应光学、稳像 |
干涉 |
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技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P31.T25S |
P31.T25K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx,θy |
θx,θy |
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运动和定位 |
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标称偏转角度(0~+120V) |
20或±10 |
20或±10 |
mrad±20% |
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偏转角度(-20~+150V) |
25或±12.5 |
25或±12.5 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
2 |
1 |
µrad |
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闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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空载谐振频率 |
0.4 |
0.4 |
kHz±20% |
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加载后谐振频率(Φ50x8mm镜片) |
50 |
50 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
50 |
3.2 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
15 |
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驱动性能 |
||||
静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF/轴±20% |
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其它 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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外形尺寸(直径×高) |
90×63 |
90×63 |
mm |
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重量 |
700 |
700 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
跟踪、稳像 |
笼式结构 |
快速激光束偏转及扫描 |
变形镜 |
激光稳定系统 |
激光加工 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |