IT.XYZ100三维XYZ向压电纳米定位台 100μm 当前位置:产品首页 >> 三维压电纳米定位台>>IT.XYZ100三维XYZ向压电纳米定位台 100μm
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IT.XYZ100电容传感式压电平移台采用电容传感器作为闭环反馈,分辨率可达皮米级,一体式结构设计,多轴运动无耦合。可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。

 

特性

       • XYZ三维运动,行程100μm/轴                      • 皮米级分辨率                     • 电容式闭环控制                     • 闭环定位精度高

 

外观形状

产品运动示意图

台体采用放大机构设计,运动行程范围大

 

 

 


分辨率高

电容传感器闭环

 

 

电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器,其精度可达满行程的0.001%。

 


      应用

       • 精密定位                     • 生物显微                     • 光学显微成像                     • 细胞穿透

 

IT.XYZ100技术参数 

型号 

IT.XYZ100 

单位 

运动自由度 

XYZ 


行程范围(0~150V) 

100 

μm±20% 

传感形式 

高分辨率电容传感器 


分辨率 

20 

picometer 

线性度 

0.01 

%F.S. 

响应频率 

320/450/500 

Hz 

负载 

1 

Kg 

台体重量 

250 

g 

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陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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