IT.XYZ100电容传感式压电平移台采用电容传感器作为闭环反馈,分辨率可达皮米级,一体式结构设计,多轴运动无耦合。可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。
特性
• XYZ三维运动,行程100μm/轴 • 皮米级分辨率 • 电容式闭环控制 • 闭环定位精度高
外观形状 |
产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
|
|
|
分辨率高 |
电容传感器闭环 |
|
|
电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器,其精度可达满行程的0.001%。 |
|
|
|
|
应用
• 精密定位 • 生物显微 • 光学显微成像 • 细胞穿透
IT.XYZ100技术参数
型号 |
IT.XYZ100 |
单位 |
运动自由度 |
XYZ |
|
行程范围(0~150V) |
100 |
μm±20% |
传感形式 |
高分辨率电容传感器 |
|
分辨率 |
20 |
picometer |
线性度 |
0.01 |
%F.S. |
响应频率 |
320/450/500 |
Hz |
负载 |
1 |
Kg |
台体重量 |
250 |
g |
|
|
|
|
陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
|
|
|
|
钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
|
|
|
|
粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
|
|
|
|
P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
|
|
|
|
BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
|
|
|
|
BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |