N60.X30S N60.X30K一维X向压电纳米定位台 30μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>N60.X30S N60.X30K一维X向压电纳米定位台 30μm
  • 产品介绍
  • 价格及周期
  • 意见反馈

N60 系列压电纳米定位台为一维 X 轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可实现 X 轴 30μm 的位移。优异的机构放大设计原理,使得X轴运动直线性高。开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。


产品特点


 一维X轴运动

 位移行程30μm

 超小体积

 承载0.5kg

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


外观形状

产品运动示意图

放大机构式驱动示意图

高稳定性、高谐振频率、体积小巧

N60采用机构放大设计原理,一维X轴运动行程30μm, 体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。
      N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理,优异的结构设计,无摩擦无后坐力,具有高的分辨率以及良好的动态性能,空载谐振频率达1800Hz。

传感器类型

高分辨率

N60配套E53压电控制器,可实现0.5nm的步进分辨率。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤定位/光学扫描

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米光刻

 干涉法/ 扫描显微

 纳米定位

 生物技术

 半导体技术

 质量保证测试

 微加工/精密控制


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

N60.X30S

N60.X30K

单位

运动自由度

X

 

标称行程范围(0~120V

24

μm±10%

行程范围(0~150V

30

μm±10%

传感器类型

SGS/-

 

/开环分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.5/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.3/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

μrad

/拉力

8/2

N

运动方向刚度

0.6

N/μm±20%

空载谐振频率

1.8

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

10/2

ms±20%

承载能力

0.5

kg

静电容量

0.8

μF±20%

材质

 

重量

80

g±5%

注:以上参数是采用E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。 

**可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
  • 顾客单位所在城市:
         
  • 您的联系方式:
  • 联系人:
  • 手机:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • QQ:
  • (为方便我们对您的意见进行跟踪反馈,请务必填写真实有效的联系方式)
  • 反馈产品类型:
  • 型号:
  • 反馈问题:
    性能问题 外观问题 配件问题 软件问题
  • 留言内容:
  • 验证码: 看不清?


微信公众平台

扫一扫, 获取芯明天更多信息

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话:0451-86268790

压电 · 纳米 · 运动