N60 系列压电纳米定位台为一维 X 轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可实现 X 轴 30μm 的位移。优异的机构放大设计原理,使得X轴运动直线性高。开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。
产品特点
一维X轴运动 |
位移行程30μm |
超小体积 |
承载0.5kg |
纳米级定位精度 |
真空版本可选 |
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外观形状 |
产品运动示意图 |
放大机构式驱动示意图 |
高稳定性、高谐振频率、体积小巧
N60采用机构放大设计原理,一维X轴运动行程30μm, 体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。 |
传感器类型 |
高分辨率 N60配套E53压电控制器,可实现0.5nm的步进分辨率。 |
产品应用
光纤定位/光学扫描 |
纳米压印 |
纳米计量 |
微操控 |
纳米光刻 |
干涉法/ 扫描显微 |
纳米定位 |
生物技术 |
半导体技术 |
质量保证测试 |
微加工/精密控制 |
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技术参数 | |||
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
N60.X30S N60.X30K |
单位 |
运动自由度 |
X |
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标称行程范围(0~120V) |
24 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
30 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
1/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.5/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.3/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
μrad |
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推/拉力 |
8/2 |
N |
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运动方向刚度 |
0.6 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
1.8 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
10/2 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.5 |
kg |
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静电容量 |
0.8 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
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重量 |
80 |
g±5% |
注:以上参数是采用E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |