IT.X25电容传感式压电平移台为X轴平移运动平台,行程可达25μm,电容式闭环控制,定位精度可达纳米级,可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。
特性
• 行程25μm • 皮米级分辨率 • 电容式闭环控制 • 闭环定位精度高
外观形状 |
产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
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分辨率高 |
电容传感器闭环 |
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电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器,其精度可达满行程的0.001%。 |
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应用
• 精密定位 • 生物显微 • 光学显微成像 • 细胞穿透
IT.X25技术参数
型号
IT.X25
单位
运动自由度
X
行程范围(0~150V)
25
μm±20%
传感形式
高分辨率电容传感器
分辨率
12
picometer
线性度
0.005
%F.S.
响应频率
1500
Hz
负载
5
Kg
台体重量
196
g
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |