IT.X25一维X向压电纳米定位台 25μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>IT.X25一维X向压电纳米定位台 25μm
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IT.X25电容传感式压电平移台为X轴平移运动平台,行程可达25μm,电容式闭环控制,定位精度可达纳米级,可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。

 

特性

       • 行程25μm                     • 皮米级分辨率                     • 电容式闭环控制                     • 闭环定位精度高

 

外观形状

产品运动示意图

台体采用放大机构设计,运动行程范围大

 

 

 


分辨率高

电容传感器闭环

 

 

电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器,其精度可达满行程的0.001%。

 


      应用

       • 精密定位                     • 生物显微                     • 光学显微成像                     • 细胞穿透

 

IT.X25技术参数

型号

IT.X25

单位

运动自由度

X


行程范围(0~150V)

25

μm±20%

传感形式

高分辨率电容传感器


分辨率

12

picometer

线性度

0.005

%F.S.

响应频率

1500

Hz

负载

5

Kg

台体重量

196

g

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陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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