IT.Z1000电容传感式压电平移台为Z轴平移运动平台,行程可达1mm,电容式闭环控制,定位精度可达纳米级,可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。
产品特点
行程1mm |
皮米级分辨率 |
电容式闭环控制 |
闭环定位精度高 |
外观形状 |
产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
分辨率高 |
电容传感器闭环 电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器,其精度可达满行程的0.001%。 |
产品应用
精密定位 |
生物显微 |
光学显微成像 |
细胞穿透 |
技术参数 | ||
型号 |
IT.Z1000 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
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行程范围(0~150V) |
1000 |
μm±20% |
传感形式 |
高分辨率电容传感器 |
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分辨率 |
400 |
picometer |
线性度 |
0.001 |
%F.S. |
响应频率 |
500 |
Hz |
负载 |
1 |
Kg |
台体重量 |
1000 |
g |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |